[发明专利]用于电子柱的运动设备有效
| 申请号： | 200580029412.7 | 申请日： | 2005-09-01 |
| 公开（公告）号： | CN101010774A | 公开（公告）日： | 2007-08-01 |
| 发明（设计）人： | 金浩燮;金秉辰 | 申请（专利权）人： | 电子线技术院株式会社 |
| 主分类号： | H01J37/04 | 分类号： | H01J37/04 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 | 代理人： | 李辉;吕俊刚 |
| 地址： | 韩国忠*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | 本发明提供了一种用于电子柱的运动设备，该运动设备提供了发射电子束的电子柱与其上照射电子束的样本之间的相对运动。该运动设备包括：用于将电子束发射到样本上的多微柱；用于支撑该多微柱的支架；以及用于驱动该支架以移动该多微柱的驱动装置。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 电子 运动 设备 | ||
【主权项】：
1、一种用于电子柱的运动设备，该运动设备包括：电子柱，用于将电子束发射到样本上；腔，用于容纳所述电子柱并将所述电子柱保持在超高真空中；支架，用于支撑所述腔；驱动装置，用于驱动所述支架，以实时地移动所述电子柱；所述样本，从所述电子柱发射的电子束照射在所述样本上；以及真空腔，用于将所述样本保持在低真空或高真空中。
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