[发明专利]采用动态阻抗实时估计的DC电源无效
| 申请号： | 200580029615.6 | 申请日： | 2005-06-09 |
| 公开（公告）号： | CN101040360A | 公开（公告）日： | 2007-09-19 |
| 发明（设计）人： | 米兰·伊利克;卡利安·N·C·西德巴图拉;杰拉尔德·C·小鲁普;戴维·J·克里斯蒂 | 申请（专利权）人： | 先进能源工业公司 |
| 主分类号： | H01J7/24 | 分类号： | H01J7/24 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 | 代理人： | 林锦辉 |
| 地址： | 美国科*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： |
本发明提供了一种设备和方法，用于控制DC电磁管等离子体处理系统，所述系统根据负载的动态阻抗而自动调节对电源的控制信号，以控制到等离子体的输出功率。采用比开关频率至少高4到5倍的采样频率，对提供功率给等离子体的电源的输出电压和输出电流进行采样，并根据算法 |
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| 搜索关键词： | 采用 动态 阻抗 实时 估计 dc 电源 | ||
【主权项】：
1、用于控制DC电磁管等离子体处理系统的设备，包括：a)用于等离子体处理的室，用于在衬底上沉积薄膜，所述室中包含有至少两个电极；b)电源，用于向所述电极提供电压，来点燃等离子体并传递功率；以及c)连接到所述电源的控制器，其根据所述等离子体的动态阻抗的变化，自动调节对所述电源的控制信号。
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