[发明专利]用于检测和/或测量环境中所含电荷浓度的传感器，对应的用途及其制造方法无效
| 申请号： | 200580029737.5 | 申请日： | 2005-07-07 |
| 公开（公告）号： | CN101048656A | 公开（公告）日： | 2007-10-03 |
| 发明（设计）人： | 塔耶伯·默哈迈德－布拉希姆;安妮－克莱尔·萨朗;弗朗斯·勒彼翰;希柴姆·科特伯;法瑞达·班德瑞尔;奥利弗·邦纳德 | 申请（专利权）人： | 雷恩第一大学 |
| 主分类号： | G01N27/414 | 分类号： | G01N27/414 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人： | 张浩 |
| 地址： | 法国*** | 国省代码： | 法国;FR |
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| 摘要： | 本发明涉及一种用于检测和/或测量环境中所含电荷的浓度的传感器。该传感器包括场效应晶体管结构，场效应晶体管结构包括形成栅极并悬在有源层(10)上方的桥(4)，有源层(10)位于漏极(6)与源极(7)之间。向桥施加具有特定值的栅极电压。在桥(4)与有源层(10)或沉积在所述有源层上的绝缘层(8)之间含有所谓的气隙区域(9)，气隙区域具有特定的高度。在气隙中创建被定义为栅极电压与气隙高度之比的电场(E)。本发明的特征在于，气隙中所产生的电场具有不小于特定阈值(50000V/cm，100000V/cm，优选地为200000V/cm)的值，其对于电场(E)非常重要，以便影响环境中所含的以及气隙中存在的电荷的分布，并且能够通过在有源层上积累电荷而获得高灵敏度的传感器。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 检测 测量 环境 电荷 浓度 传感器 对应 用途 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
1.一种用于检测和/或测量环境中所含电荷的浓度的传感器，所述传感器包括场效应晶体管结构，场效应晶体管结构包括形成栅极并悬在有源层(10)上方的桥(4)，有源层(10)位于漏极(6)与源极(7)区域之间，向桥施加具有特定值的栅极电压，在桥(4)与有源层(10)或沉积在所述有源层上的绝缘层(8)之间含有所谓的气隙区域(9)，气隙区域具有特定的高度，在气隙中形成被定义为栅极电压与气隙高度之比的电场E，其特征在于，气隙中所创建的电场具有大于或等于特定阈值的值，其对于电场E足够大，以便影响环境中所含的以及气隙中存在的电荷的分布，并且能够通过在有源层上积累电荷而获得高的传感器灵敏度。
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