[发明专利]液体中物质检测传感器及使用它的液体中物质检测装置有效
| 申请号： | 200580029790.5 | 申请日： | 2005-08-22 |
| 公开（公告）号： | CN101010582A | 公开（公告）日： | 2007-08-01 |
| 发明（设计）人： | 木村哲也;藤本耕治;冈口健二朗;山本信也;森本亮一;家边彻 | 申请（专利权）人： | 株式会社村田制作所 |
| 主分类号： | G01N29/02 | 分类号： | G01N29/02 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 | 代理人： | 张鑫 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供能够以高精度测定少量液体中的检测对象物质的、使用弹性表面波元件的液体中物质检测传感器及使用该液体中物质检测传感器的液体中物质检测装置。液体中物质检测传感器1具备：具有开口部2a及2b、而且在一面上设置电极连接盘的衬底基板2；以及在一面上设置具有至少一个IDT电极的检测部的SAW元件6及7，通过倒装芯片键合法使用凸点电极安装SAW元件6及7，使得SAW元件6及7的检测部面对衬底基板2的开口部2a及2b，利用与检测对象物质结合的反应膜13覆盖至少一个检测部。 | ||
| 搜索关键词： | 液体 物质 检测 传感器 使用 装置 | ||
【主权项】：
1.一种液体中物质检测传感器，其特征在于，具备：具有至少一个开口部、而且在一面上在开口部的周围设置电极连接盘的衬底基板；以及具有压电基板和在压电基板上形成的、构成检测部的至少一个IDT电极的至少一个SAW元件，在所述衬底基板上安装所述至少一个SAW元件，使得所述至少一个SAW元件的所述检测部面对所述衬底基板的至少一个开口部，还具备：为了将所述SAW元件安装在所述衬底基板上、而将所述SAW元件与所述衬底基板的电极连接盘接合的凸点电极；以及设置成覆盖所述SAW元件及凸点电极的周围的树脂层，利用与检测对象物质结合的反应膜，覆盖所述至少一个检测部的表面。
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