[发明专利]压电薄膜共振器无效
| 申请号： | 200580029867.9 | 申请日： | 2005-05-09 |
| 公开（公告）号： | CN101010875A | 公开（公告）日： | 2007-08-01 |
| 发明（设计）人： | 藤井英俊;久保竜一;山田一 | 申请（专利权）人： | 株式会社村田制作所 |
| 主分类号： | H03H9/17 | 分类号： | H03H9/17;H03H9/58;H03H9/70;H01L41/09;H01L41/22 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人： | 李香兰 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 一种压电薄膜共振器(10)具备基板(11)、薄膜部和增强膜(19a、19b)。薄膜部具有由基板(11)支撑的至少两处的支撑部分和与基板(11)隔开间隔配置并由支撑部分支撑的浮起部分。浮起部分包括压电薄膜(18)和夹持压电薄膜(18)并对置的一对激振电极(17a、17b)。增强膜(19a、19b)形成在薄膜部的支撑部分和浮起部分之间的边界附近部分。从而能够提供一种不破坏共振特性、确保膜片的强度且使安装时的处理容易的压电薄膜共振器。 | ||
| 搜索关键词： | 压电 薄膜 共振器 | ||
【主权项】：
1、一种压电薄膜共振器，具备：基板；薄膜部，其具有由上述基板支撑的至少两处的支撑部分和在与上述基板之间介由空隙层配置并由上述支撑部分支撑的浮起部分，上述浮起部分包括在一对激振电极之间配置压电薄膜的振动部；和增强膜，其形成在上述薄膜部的上述支撑部分和上述浮起部分之间的边界附近部分。
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