[发明专利]基于干涉测量表面轮廓的厚度测量技术无效
| 申请号： | 200580030629.X | 申请日： | 2005-07-14 |
| 公开（公告）号： | CN101019000A | 公开（公告）日： | 2007-08-15 |
| 发明（设计）人： | 泽维尔·C·德莱格 | 申请（专利权）人： | 齐戈股份有限公司 |
| 主分类号： | G01B9/02 | 分类号： | G01B9/02 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 | 代理人： | 马高平;杨梧 |
| 地址： | 美国康*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 本发明公开了利用膜的干涉测量表面轮廓测量透明膜的厚度的技术。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 干涉 测量 表面 轮廓 厚度 技术 | ||
【主权项】：
1.一种方法，包括：根据目标物的测量数据，确定目标物的第一界面的高度轮廓；根据测量数据和第二界面的形状的模型，确定目标物的第二界面的高度轮廓；以及根据第一和第二界面的高度轮廓，确定第一和第二界面之间的距离的轮廓。
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