[发明专利]压电执行元件

摘要

一种具有在压电陶瓷的表面形成一对电极而构成的压电元件(2)作为驱动源的压电执行元件(1)。压电执行元件(1)满足下述要件(a)～(c)中的至少一个要件。(a)表观动态电容C[F]的随温度变化产生的波动幅W_C在－30℃～80℃的特定温度范围内为±11％以内、(b)位移L[μm]的随温度变化产生的波动幅W_L在－30℃～80℃的特定温度范围内为±14％以内、(c)表观动态电容设为C[F]、位移设为L[μm]时，L/C的随温度变化产生的波动幅W_L/C在－30℃～80℃的特定温度范围内为±12％以内。

主权项

1.一种压电执行元件，其具有在压电陶瓷的表面形成1对电极而构成的压电元件作为驱动源，其特征在于：对所述压电执行元件外加电压，以电场强度为100V/mm以上的具有恒定振幅的电场驱动条件使其驱动的场合，所述压电执行元件满足下述要件(a)～(c)中的至少一个要件，(a)下述式(1)表示的表观动态电容C[F]的随温度变化产生的波动幅WC[％]在-30℃～80℃的特定温度范围内为±11％以内，其中，C[F]为所述压电执行元件的表观动态电容，当所述压电执行元件与电容器串联连接，并对所述压电执行元件以及所述电容器外加电压时，C[F]可通过用所述电容器中积蓄的电荷量Q[C]除以外加到所述压电执行元件上的电压V[V]而算出，WC(％)＝[{2×Cmax/(Cmax+Cmin)}-1]×100 (1)其中，Cmax表示在-30℃～80℃的表观动态电容的最大值，Cmin表示在-30℃～80℃的表观动态电容的最小值；(b)下述式(2)表示的位移L[μm]的随温度变化产生的波动幅WL[％]在-30℃～80℃的特定温度范围内为±14％以内，其中，L[μm]为所述压电执行元件的位移，WL[％]＝[{2×Lmax/(Lmax+Lmin)}-1]×100 (2)其中，Lmax表示在-30℃～80℃的位移的最大值，Lmin表示在-30℃～80℃的位移的最小值；(c)下述式(3)表示的L/C的随温度变化产生的波动幅WL/C(％)在-30℃～80℃的特定温度范围内为±12％％以内，其中，C[F]为所述压电执行元件的表观动态电容，L[μm]为所述压电执行元件的位移，当所述压电执行元件与电容器串联连接，并对所述压电执行元件以及所述电容器外加电压时，所述C[F]可通过用所述电容器中积蓄的电荷量Q[C]除以外加到所述压电执行元件上的电压V[V]而算出，WL/C[％]＝[{2×(L/C)max/((L/C)max+(L/C)min)}-1]×100 (3)其中，(L/C)max表示在-30℃～80℃的L/C的最大值，(L/C)min 表示在-30℃～80℃的L/C的最小值。