[发明专利]具有减小的驱动电容的驱动器有效
| 申请号： | 200580030801.1 | 申请日： | 2005-08-01 |
| 公开（公告）号： | CN101040394A | 公开（公告）日： | 2007-09-19 |
| 发明（设计）人： | 安德烈亚斯·比博;杰弗里·伯克迈耶 | 申请（专利权）人： | 富士胶卷迪马蒂克斯股份有限公司 |
| 主分类号： | H01L41/09 | 分类号： | H01L41/09;H01L41/047;H01L41/24;H01L41/22;B41J2/14;B41J2/16 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 | 代理人： | 陶凤波 |
| 地址： | 美国新罕*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 提供了用于减小激励微机电结构的压电驱动器(150)所需功率量的技术。绝缘层(185)沉积于压电层(165)上。绝缘层(185)被蚀刻以除去该层的一部分，并暴露蚀刻区域内的压电层(165)。电极层(170)沉积在压电层(165)和绝缘层(185)上。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 减小 驱动 电容 驱动器 | ||
【主权项】：
1.一种驱动器，包括：具有第一部分和第二部分的第一电极；毗邻所述第一电极的压电层；以及夹置于所述压电层和所述第一电极之间的绝缘层，其中所述第一电极的第一部分接触所述绝缘层且所述第一电极的第二部分接触所述压电层。
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