[发明专利]感光性组合物、图案形成材料、感光性层叠体以及图案形成装置和图案形成方法有效
| 申请号： | 200580030901.4 | 申请日： | 2005-07-14 |
| 公开（公告）号： | CN101052918A | 公开（公告）日： | 2007-10-10 |
| 发明（设计）人： | 田代朋子;佐藤守正;佐佐木义晴;若田裕一;高柳丘 | 申请（专利权）人： | 富士胶片株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/028 | 分类号： | G03F7/028;G03F7/004;G03F7/027;G03F7/029;G03F7/031;H01L21/027 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人： | 朱丹 |
| 地址： | 日本国*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明的目的在于，提供一种感光性组合物、层叠有该感光性组合物的图案形成材料及感光性层叠体、图案形成装置、图案形成方法，其中，所述感光性组合物相对于波长400～410nm的曝光光的灵敏度分布大致一定、图案重现性优良、最大地抑制图案形状的偏差、可以在明室环境下处理。因此，提供一种感光性组合物、层叠有该感光性组合物的图案形成材料，其中，所述感光性组合物在支持体上至少具有感光层，该感光层含有粘合剂、聚合性化合物、光聚合引发剂及增感剂，该感光层在380～420nm的波长域具有光谱灵敏度的最大值，同时，在400nm处可以形成图案的最小曝光量S400为200mJ/cm2以下、在410nm处可以形成图案的最小曝光量S410为200mJ/cm2以下、且满足0.6＜S400/S410＜1.4。 | ||
| 搜索关键词： | 感光性 组合 图案 形成 材料 层叠 以及 装置 方法 | ||
【主权项】：
1、一种感光性组合物，其特征在于，其含有粘合剂、聚合性化合物及光聚合引发剂，在380～420nm的波长域具有光谱灵敏度的最大值，同时，在400nm处可以形成图案的最小曝光量S400为300mJ/cm2以下，在410nm处可以形成图案的最小曝光量S410为300mJ/cm2以下，并且，该S400和该S410满足0.6＜S400/S410＜1.6。
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