[发明专利]用于空化阈值特征表示和控制的方法和设备有效
| 申请号： | 200580031073.6 | 申请日： | 2005-09-16 |
| 公开（公告）号： | CN101019245A | 公开（公告）日： | 2007-08-15 |
| 发明（设计）人： | 马克·J.·贝克;雷蒙德·Y.·利拉德;埃里克·G.·利布舍尔;弗兰克·M.·海丁雅克 | 申请（专利权）人： | 产品系统公司 |
| 主分类号： | H01L41/08 | 分类号： | H01L41/08 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 | 代理人： | 王琼 |
| 地址： | 美国加*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 一种用于表示空化的特征的设备和方法，所述空化发生在暴露到声能的流体中。所述设备包括：容器(14)，用于容纳流体；声能产生装置(118)，用于产生声能，声能产生装置(118)被定位成当流体容纳在容器(14)中时将声能传递到流体中；和空化检测装置(22)，用于检测容纳在容器(14)中的流体中的空化。在一个优选实施例中，空化检测装置(22)包括光检测装置，例如光电倍增管，其检测来自流体的声致发光。所述方法包括下列步骤：使一定量的工艺流体暴露到特定能级的声能；测量在一定时间段上来自流体的光子输出；并且当光子输出偏离适合的水平时，启动补偿步骤以使光子输出返回到大约适合的水平。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 阈值 特征 表示 控制 方法 设备 | ||
【主权项】：
1.一种用于表示流体中的空化的特征的设备，包括：容器，用于容纳流体；声能产生装置，用于产生声能，声能产生装置被定位成当流体容纳在容器中时将声能传递到流体中；和空化检测装置，当声能在流体中引起空化时，所述空化检测装置用于检测容纳在容器中的流体中的空化。
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