[发明专利]氟甲烷的制备方法和产品有效
| 申请号： | 200580031247.9 | 申请日： | 2005-09-01 |
| 公开（公告）号： | CN101023051A | 公开（公告）日： | 2007-08-22 |
| 发明（设计）人： | 大野博基;新井龙晴 | 申请（专利权）人： | 昭和电工株式会社 |
| 主分类号： | C07C17/20 | 分类号： | C07C17/20;C07C19/08 |
| 代理公司： | 北京市中咨律师事务所 | 代理人： | 林柏楠;刘金辉 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明涉及使氯甲烷和氟化氢在气相中在氟化催化剂存在下反应，将所得的含有氯甲烷和氯化氢的混合物加入蒸馏塔中，用于作为塔顶馏分分离和提纯氯甲烷和氯化氢。所以，可以有效地制备高纯度的HFC－41，其适合作为半导体蚀刻气体。 | ||
| 搜索关键词： | 甲烷 制备 方法 产品 | ||
【主权项】：
1.一种制备氟甲烷的方法，包括以下四个步骤：(1)使氯甲烷与沸石在液相中接触，(2)使在步骤(1)中获得的氯甲烷与氟化氢在气相中在氟化催化剂的存在下反应，获得主要氟甲烷，(3)将在步骤(2)中获得的含氟甲烷的混合气体加入蒸馏塔中，并将主要包含氟甲烷和氯化氢的塔顶馏分与主要包含氯甲烷和氟化氢的塔底馏分分离，和(4)从在步骤(3)中获得的塔顶馏分中分离并提纯氟甲烷。
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