[发明专利]用于离子束的静电透镜有效
| 申请号： | 200580031430.9 | 申请日： | 2005-07-19 |
| 公开（公告）号： | CN101023506A | 公开（公告）日： | 2007-08-22 |
| 发明（设计）人： | R·拉斯梅尔;V·班威尼斯特 | 申请（专利权）人： | 艾克塞利斯技术公司 |
| 主分类号： | H01J37/12 | 分类号： | H01J37/12;H01J37/317 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 李亚非;陈景峻 |
| 地址： | 美国马*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 一种供离子束注入器使用的透镜结构。该透镜结构包括沿着离子移动的方向间隔开的第一和第二电极。该透镜结构跨过离子束的宽度延伸，用于偏转进入透镜结构的离子。该透镜结构包括用于减速离子的第一电极和用于加速离子的第二电极。透镜结构模式控制器有选择地启动加速或者减速电极，以使进入透镜结构的离子以期望的轨道离开所述透镜结构，而不管离子进入透镜结构的轨道。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 离子束 静电透镜 | ||
【主权项】：
1、离子注入设备，包括：离子源，其发出从源材料产生的离子；质量甄别磁体，其偏转离子远离沿着离子源下游的离子行进路径的轨道；离子扫描器，其被定位成在质量甄别磁体之后拦截离子，以受控的方式从一侧到另一侧扫描离子以形成具有一定宽度的离子束；透镜结构，其限定离子穿过其中的区域，当离子进入透镜结构时，该透镜结构偏转离子远离扫描器下游的初始轨道；所述透镜结构包括加速或者减速所述离子的透镜电极对；其中在所述透镜电极对中的电极沿着离子移动的方向间隔开以偏转进入该透镜结构的离子，该方向跨过离子束的宽度延伸；以及透镜结构模式控制器，其在有助于加速离子的电压与有助于减速离子的电压之间切换施加到该透镜结构的偏置电压，以使进入透镜结构的离子以期望的离开轨道离开所述透镜结构。
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