[发明专利]测漏方法及包括分压传感器的测漏装置无效
申请号: | 200580031609.4 | 申请日: | 2005-08-19 |
公开(公告)号: | CN101023336A | 公开(公告)日: | 2007-08-22 |
发明(设计)人: | 维尔纳·格罗塞·布莱;丹尼尔·韦齐希 | 申请(专利权)人: | 因菲康有限公司 |
主分类号: | G01M3/20 | 分类号: | G01M3/20;G01M3/22 |
代理公司: | 北京集佳知识产权代理有限公司 | 代理人: | 张文;段斌 |
地址: | 德国*** | 国省代码: | 德国;DE |
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摘要: | 本发明涉及一种测漏装置,其包括气密密封于外界并包含待测试物体(12)的腔室(10),所述待测试物体填充有测试气体(14)。所述腔室(10)包括选择性地响应于测试气体(14)但不响应于填充气体(11)的分压传感器(15)。由此,可采用简单的装置进行测漏而无需高真空和质谱仪。 | ||
搜索关键词: | 方法 包括 传感器 装置 | ||
【主权项】:
1.一种测漏方法,其中填充有测试气体(14)的中空测试物体(12)置入腔室(10)内,所述腔室初始包含不含测试气体的填充气体(11),其中测试气体(14)从测试物体(12)的漏泄由气体传感器(15)探测,所述气体传感器响应于测试气体但不响应于填充气体,其特征在于,所述腔室(10)气密地密封以形成恒定的填充气体体积,并且使用分压传感器作为所述气体传感器(15),所述分压传感器包括能选择性地透过所述测试气体(14)的膜(18),所述膜(18)布置在所述腔室(10)中。
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