[发明专利]测漏方法及包括分压传感器的测漏装置无效

专利信息
申请号: 200580031609.4 申请日: 2005-08-19
公开(公告)号: CN101023336A 公开(公告)日: 2007-08-22
发明(设计)人: 维尔纳·格罗塞·布莱;丹尼尔·韦齐希 申请(专利权)人: 因菲康有限公司
主分类号: G01M3/20 分类号: G01M3/20;G01M3/22
代理公司: 北京集佳知识产权代理有限公司 代理人: 张文;段斌
地址: 德国*** 国省代码: 德国;DE
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摘要: 发明涉及一种测漏装置,其包括气密密封于外界并包含待测试物体(12)的腔室(10),所述待测试物体填充有测试气体(14)。所述腔室(10)包括选择性地响应于测试气体(14)但不响应于填充气体(11)的分压传感器(15)。由此,可采用简单的装置进行测漏而无需高真空和质谱仪。
搜索关键词: 方法 包括 传感器 装置
【主权项】:
1.一种测漏方法,其中填充有测试气体(14)的中空测试物体(12)置入腔室(10)内,所述腔室初始包含不含测试气体的填充气体(11),其中测试气体(14)从测试物体(12)的漏泄由气体传感器(15)探测,所述气体传感器响应于测试气体但不响应于填充气体,其特征在于,所述腔室(10)气密地密封以形成恒定的填充气体体积,并且使用分压传感器作为所述气体传感器(15),所述分压传感器包括能选择性地透过所述测试气体(14)的膜(18),所述膜(18)布置在所述腔室(10)中。
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