[发明专利]等离子加工设备

摘要

一种等离子加工设备，其中防止了由电极与固体电介质之间热膨胀差引起的电弧放电的出现。加工单元(10L、10R)的壳体(20)的底部开口，并使用固体电介质板(50)关闭，且电极(30)容纳在壳体(20)内，且电极(30)在纵向方向上是自由的。固体电介质板(50)具有例如可以由自己支撑电极(30)的静重的强度。电极(30)安装在固体电介质板(50)的上表面，且没有固定到其上，从而电极(30)的静重大体上全部由固体电介质板(50)承受。

主权项

1、一种等离子加工设备，其中加工气体被引入到形成在所述设备与基板之间的加工通道，所述加工通道的至少一部分设置为放电空间，且所述基板在所述放电空间内被等离子加工，其中所述等离子加工设备包括加工单元，所述加工单元设置在所述基板的上部，并在所述基板与所述加工单元之间形成加工通道，所述加工单元包括壳体，所述壳体的底部开口，由所述壳体以关闭所述底部的方式支撑的固体电介质板，和容纳在所述壳体内用于形成所述放电空间的电极，所述固体电介质板具有能够由它自己单独支撑所述电极的静重的强度，且所述电极至少在水平的第一方向上是自由的，且以非固定的状态放置在所述固体电介质板的上表面上，从而所述电极的静重几乎全部施加到所述固体电介质板上。