[发明专利]电容性传感器和用于制造电容性传感器的方法无效
| 申请号： | 200580032266.3 | 申请日： | 2005-09-15 |
| 公开（公告）号： | CN101027542A | 公开（公告）日： | 2007-08-29 |
| 发明（设计）人： | J·罗希奥;R·蒂凯南 | 申请（专利权）人： | VTI技术有限公司 |
| 主分类号： | G01L9/12 | 分类号： | G01L9/12;G01P15/125;B81B3/00 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 程天正;王小衡 |
| 地址： | 芬兰*** | 国省代码： | 芬兰;FI |
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| 摘要： | 本发明涉及物理测量中使用的测量设备并且更具体地涉及电容性传感器。在根据本发明的传感器中，固定电极(3)，(4)，(12)，(17－20)，(27－28)的形状是阶梯状的。借助于本发明，得到用于制造具有改良线性的电容性传感器的方法，以及适合于特别是在小电容性传感器解决方案中使用的电容性传感器。 | ||
| 搜索关键词： | 电容 传感器 用于 制造 方法 | ||
【主权项】：
1.一种电容性传感器，包括可移动电极(2)，(12)，(21)，(29)，和固定电极，其特征在于该固定电极(3)，(4)，(12)，(17-20)，(27-28)的形状是阶梯状的。
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