[发明专利]生产氟气的方法无效
| 申请号： | 200580032294.5 | 申请日： | 2005-09-22 |
| 公开（公告）号： | CN101027248A | 公开（公告）日： | 2007-08-29 |
| 发明（设计）人： | 冈正和;福世知行;鸟巢纯一 | 申请（专利权）人： | 昭和电工株式会社 |
| 主分类号： | C01B7/20 | 分类号： | C01B7/20;B01J19/24 |
| 代理公司： | 北京市中咨律师事务所 | 代理人： | 刘金辉;林柏楠 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明涉及一种生产氟气的方法，包括步骤(1)使用具有透气性的结构体将配有加热装置的氟气发生容器的内部分区，然后在每个区域中装入高价金属氟化物并将该高价金属氟化物加热，由此生成氟气。该方法可以包括步骤(2)使已在步骤(1)中由其生成氟气的高价金属氟化物吸留氟气。根据本发明的方法，可以廉价地大规模生产可用作半导体或液晶制造工艺中的蚀刻气体或清洁气体的高纯氟气。 | ||
| 搜索关键词： | 生产 氟气 方法 | ||
【主权项】：
1.一种生产氟气的方法，包括步骤(1)使用具有透气性的结构体将配有加热装置的氟气发生容器的内部分区，然后在每个区域中装入高价金属氟化物并将该高价金属氟化物加热，由此生成氟气。
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