[发明专利]振动型陀螺仪及振动型陀螺仪的制造方法有效
| 申请号： | 200580033373.8 | 申请日： | 2005-09-29 |
| 公开（公告）号： | CN101031775A | 公开（公告）日： | 2007-09-05 |
| 发明（设计）人： | 川内修;宫沢茂喜;高山胜己;山口启一 | 申请（专利权）人： | 精工爱普生株式会社 |
| 主分类号： | G01C19/56 | 分类号： | G01C19/56;G01P9/04 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 | 代理人： | 党晓林 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种振动型陀螺仪及振动型陀螺仪的制造方法，该振动型陀螺仪可改变使用质量除去装置可除去的最低除去量，从而能够进行固有共振频率的粗调和微调。本发明的振动型陀螺仪的压电振动片(10)由以下部分构成：从基部(12)向相反方向延伸的连接臂(13、14)；从连接臂(13、14)各自的前端沿与连接臂(13、14)正交的方向延伸的驱动臂(15A、15B、15C、15D)；和从基部(12)沿与连接臂(13、14)正交的方向延伸的检测臂(16A、16B)，在驱动臂(15A、15B、15C、15D)及检测臂(16A、16B)各自的前端部上，形成有由锤层(18、20)和电极膜(17)构成的作为质量调节用的调节部的第一锤部(19)和第二锤部(23)。 | ||
| 搜索关键词： | 振动 陀螺仪 制造 方法 | ||
【主权项】：
1.一种振动型陀螺仪，该振动型陀螺仪用于检测被施加给压电振动片的旋转的旋转角速度，其特征在于，上述压电振动片具有：基部；驱动部，其经由从上述基部延伸的支承梁进行设置，并进行预定的振动；检测部，其在与上述驱动部相同的平面内从上述基部延伸，并检测由伴随上述驱动部旋转的科里奥利力所产生的检测振动；第一锤部，其用于上述压电振动片的特性调节，并形成在上述驱动部的大致前端部分；以及第二锤部，其用于上述压电振动片的特性调节，并形成在上述检测部的大致前端部分，上述第一锤部和第二锤部的至少一方由每单位面积的质量不同的多个调节部形成。
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