[发明专利]六方晶系纤锌矿型单晶、其制备方法、以及六方晶系纤晶矿型单晶基片无效
申请号: | 200580033478.3 | 申请日: | 2005-09-21 |
公开(公告)号: | CN101035932A | 公开(公告)日: | 2007-09-12 |
发明(设计)人: | 吉冈贤治;米山博;前田克己;新仓郁生;佐藤充;伊藤益美;折户文夫 | 申请(专利权)人: | 东京电波株式会社;三菱化学株式会社 |
主分类号: | C30B29/16 | 分类号: | C30B29/16;C30B7/10 |
代理公司: | 北京市柳沈律师事务所 | 代理人: | 张平元;赵仁临 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 本发明提供作为各种器件用基片有用的高纯度且均匀的六方晶系纤锌矿型单晶。该单晶是通过由柱状的晶种至少在m面上进行结晶生长而得到的用AX(A为正电性元素,X为负电性元素)表示的六方晶系纤锌矿型单晶,其中,正电性元素A以外的金属中,2价金属和3价金属浓度分别为10ppm以下,并且,2价金属和3价金属的浓度不均匀度均为100%以内。 | ||
搜索关键词: | 六方晶系 锌矿 型单晶 制备 方法 以及 纤晶矿型单晶基片 | ||
【主权项】:
1.一种六方晶系纤锌矿型单晶,其是通过由柱状的晶种至少在m面上进行结晶生长而得到的用AX(A为正电性元素,X为负电性元素)表示的六方晶系纤锌矿型化合物单晶,其中,正电性元素A以外的金属中,2价金属和3价金属的浓度分别为10ppm以下,并且,2价金属和3价金属的浓度不均匀度均为100%以内。
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