[发明专利]测试装置、测试方法、电子设备、以及设备生产方法有效
| 申请号： | 200580033559.3 | 申请日： | 2005-10-11 |
| 公开（公告）号： | CN101036063A | 公开（公告）日： | 2007-09-12 |
| 发明（设计）人： | 古川靖夫 | 申请（专利权）人： | 爱德万测试株式会社 |
| 主分类号： | G01R31/317 | 分类号： | G01R31/317 |
| 代理公司： | 北京中原华和知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 寿宁 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种测试装置，对包含场效应晶体管的电子设备进行测试，且该测试装置包括：电源，供给电子设备驱动用的电力；图案产生部，依次产生并供给多个测试图案，所述多个测试图案应供给到电子设备中；泄漏电流检测部，对场效应晶体管的泄漏电流进行检测；电压控制部，对施加到设置着场效应晶体管的衬底的衬底电压进行控制，以使由泄漏电流检测部所检测的泄漏电流成为规定的值；以及电源电流测定部，在每次施加各个测试图案时，对输入到电子设备中的电源电流进行测定，并根据经测定的电源电流来判定电子设备的良否。 | ||
| 搜索关键词： | 测试 装置 方法 电子设备 以及 设备 生产 | ||
【主权项】：
1.一种测试装置，对电子设备进行测试，所述电子设备设置着根据所给予的测试图案来运行的场效应晶体管，其特征在于所述测试装置包括：电源，供给所述电子设备驱动用的电力；图案产生部，依次产生并供给多个所述测试图案，多个所述测试图案应供给到所述电子设备中；泄漏电流检测部，对所述场效应晶体管的泄漏电流进行检测；电压控制部，对施加到设置着所述场效应晶体管的衬底的衬底电压进行控制，以使由所述泄漏电流检测部所检测的所述泄漏电流维持规定的值；以及电源电流测定部，在每次施加各个所述测试图案时，对输入到所述电子设备中的电源电流进行测定，并根据经测定的所述电源电流来判定所述电子设备的良否。
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