[发明专利]有灵敏吸气层的表面声波气体传感器及其制造方法无效
| 申请号： | 200580033873.1 | 申请日： | 2005-10-17 |
| 公开（公告）号： | CN101073004A | 公开（公告）日： | 2007-11-14 |
| 发明（设计）人： | 马柯·阿米欧迪 | 申请（专利权）人： | 工程吸气公司 |
| 主分类号： | G01N29/02 | 分类号： | G01N29/02;G01N29/24;G01N29/30;G01N29/22;G01N33/00;C22C16/00 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人： | 蒋世迅 |
| 地址： | 意大*** | 国省代码： | 意大利;IT |
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| 摘要： | 表面声波气体传感器，具体是真空或氢气传感器，包括：压电基片(1)，至少一个气体灵敏材料层(6)安排在所述压电基片上的两个叉指式换能器(2，3)之间，并包含吸气材料，因此，被这种吸气材料吸收的分子可以改变在两个换能器(2，3)之间传输的信号的频率。本发明还涉及一种制造这种传感器的方法。 | ||
| 搜索关键词： | 灵敏 吸气 表面 声波 气体 传感器 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
1.一种传感器，包括：压电基片(1)，至少一个气体灵敏材料层(6)安排在所述压电基片上的两个叉指式换能器(2，3)之间，其特征是，这个气体灵敏层(6)包含吸气材料，因此，被这种吸气材料吸收的分子可以改变在这两个换能器(2，3)之间传输的信号的频率。
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