[发明专利]微系统和在微系统中相对于第一元件来定位第二元件的方法有效
| 申请号： | 200580034207.X | 申请日： | 2005-09-29 |
| 公开（公告）号： | CN101035739A | 公开（公告）日： | 2007-09-12 |
| 发明（设计）人： | M·德蓬;U·T·迪里希;B·W·格茨曼 | 申请（专利权）人： | 国际商业机器公司 |
| 主分类号： | B81B3/00 | 分类号： | B81B3/00 |
| 代理公司： | 北京市中咨律师事务所 | 代理人： | 于静;李峥 |
| 地址： | 美国*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 一种微系统，包括第一静态元件(1)，第二可移动并且独立的元件(2)，用于在所述第一和第二元件(1、2)之间产生力的致动器(3)，所述致动器(3)被设计为控制所述第一元件(1)和所述第二元件(2)之一的温度(T1、T2)。介绍了在微系统中用于相对于第一元件(1)来定位第二元件(2)的相应方法。 | ||
| 搜索关键词： | 系统 相对于 第一 元件 定位 第二 方法 | ||
【主权项】：
1.一种微系统，包括：第一静态元件(1)，第二可移动并且独立的元件(2)，致动器(3)，所述致动器(3)用于在所述第一和第二元件(1、2)之间产生力，所述致动器(3)被设计为控制所述第一元件(1)和所述第二元件(2)之一的温度(T1，T2)。
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