[发明专利]减少凝聚和恢复时间的声波传感器无效
| 申请号： | 200580034264.8 | 申请日： | 2005-08-11 |
| 公开（公告）号： | CN101036049A | 公开（公告）日： | 2007-09-12 |
| 发明（设计）人： | J·Z·刘 | 申请（专利权）人： | 霍尼韦尔国际公司 |
| 主分类号： | G01N29/02 | 分类号： | G01N29/02;G01N29/24;G01N29/32 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 曾祥夌;张志醒 |
| 地址： | 美国新*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 公开了一种声波传感器设备，它一般包括一个压电衬底，其上具有一个表面。可以在该压电衬底上形成一个或多个交叉指型换能器和一个钝化层。另外，吸附剂材料可以在声学路径(IDT电极等)形成，使得该交叉指型换能器响应越过该压电衬底该表面传播的多个声波，以此与该钝化层和该交叉指型换能器一起提供指示该压电衬底附近湿度的数据。另外，一个或多个加热器可以在与该交叉指型换能器、该钝化和该吸附剂材料所定位的压电衬底一侧相反的压电衬底的一侧形成。该加热器最好可以从诸如铂的材料配置。 | ||
| 搜索关键词： | 减少 凝聚 恢复时间 声波 传感器 | ||
【主权项】：
1.一种声波传感器设备，包括：压电衬底，其上具有表面；至少一个交叉指型换能器和钝化层，在所述压电衬底上形成；和在所述钝化层上形成的吸附剂材料，其中所述至少一个交叉指型换能器响应越过所述压电衬底的所述表面传播的多个声波，提供指示所述压电衬底、所述钝化层以及所述至少一个交叉指型换能器附近的湿度的数据。
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