[发明专利]近场光学透镜与载体的接近

摘要

本发明提供一种近场光学扫描设备，特别是一种将近场光学扫描设备的透镜(24)从远程位置带到相对于记录载体(11)表面的近场位置(23)的方法。本发明优选地利用孔径光瞳图像的图像处理，其表示在固体浸没透镜(SIL)和记录载体表面之间的间隙尺寸。孔径光瞳图像的图像分析允许得出用于几微米范围内的空气间隙距离的接近程序的控制信号。这允许利用光学头运动的变速的快速、有效、精确和可靠的接近程序。此外，本发明允许使用在孔径光瞳图像中展开的干涉条纹的检测方案，其主要允许可选择地生成用于该接近程序的控制信号，并且允许减少对孔径光瞳图像的一部分的强度进行分析的信号分析。

主权项

1.一种用于扫描记录载体(11)的近场光学扫描设备，该设备包括：-具有透镜(24)的光学头(22)，该透镜适合于被定位在相对于记录载体表面的近场位置(23)，-具有空间分辨率的检测器(46)，其用于检测进入该光学头的辐射，-图像处理模块(50)，其用于分析检测器输出，并适合于生成控制信号，该控制信号表示在该透镜和记录载体之间的距离，-控制模块(20)，用于控制在该透镜和该记录载体表面之间的间隙的间隙尺寸，该控制模块在接近模式中是可操作的，用以将该透镜从远程位置移动到近场位置，该接近模式利用该控制信号。