[发明专利]抛光装置和抛光方法

摘要

一种抛光装置具有：抛光带(21)；供给卷轴(22)，用于把抛光带(21)供给到接触部分(30)中，在该接触部分上，抛光带(21)与基体(10)的凹槽部分(11)产生接触；及拾取卷轴(23)，用于缠绕来自接触部分(30)的抛光带(21)。该抛光装置还具有：第一导向部分(24)，它具有导向表面(241)从而把抛光带(21)直接供给到接触部分(30)中；及第二导向部分(25)，它具有导向表面，从而把抛光带(21)供给到拾取卷轴(23)中。第一导向部分(24)的导向表面(241)和/或第二导向部分(25)的导向表面具有与基体(10)的凹槽部分(11)的形状相对应的形状。

主权项

1.一种抛光装置，包括：抛光带；供给卷轴，用于把所述抛光带供给到接触部分中，在该接触部分上，所述抛光带与要被抛光的一部分基体产生接触；拾取卷轴，用于缠绕来自接触部分的所述抛光带；第一导向部分，具有导向表面以给来自所述供给卷轴的所述抛光带导向，从而把所述抛光带直接供给到接触部分中；第二导向部分，具有导向表面以给直接从接触部分供给来的所述抛光带导向，从而把所述抛光带供给到所述拾取卷轴中；及驱动机构，被构造成使所述抛光带和基体彼此相对进行运动；其中，所述第一导向部分的所述导向表面和所述第二导向部分的所述导向表面中的至少一个具有与要被抛光的该一部分基体的形状相对应的形状。