[发明专利]带有自动对准的流动通道的流量传感器有效
| 申请号： | 200580035434.4 | 申请日： | 2005-08-31 |
| 公开（公告）号： | CN101040169A | 公开（公告）日： | 2007-09-19 |
| 发明（设计）人： | A·帕马纳布汉;M·G·马基尼;U·邦纳 | 申请（专利权）人： | 霍尼韦尔国际公司 |
| 主分类号： | G01F1/684 | 分类号： | G01F1/684;G01F15/18;G01F15/14 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 张轶东;邹雪梅 |
| 地址： | 美国新*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 本发明提供了一种具有衬底的流量传感器，所述衬底具有传感元件(2070)以及与传感元件对准的流动通道(2040)。该传感元件检测流体的至少一种特性。通过在对准层中形成的一个或多个导向元件(2030)对准流动通道。由于以晶片水平提供导向元件，使得跨越传感区域的流动通道是被准确地和精确地对准，使在多个流量传感器中得到可靠、低成本且一致的结果变得容易。该流量传感器适于在恶劣的环境中使用。 | ||
| 搜索关键词： | 带有 自动 对准 流动 通道 流量传感器 | ||
【主权项】：
1.一种流量传感器，其包含：其上具有传感元件的衬底，所述传感元件被构造用于检测至少一种流体特性；沉积于所述衬底上的对准层，所述对准层限定一个或多个导向元件；以及流动通道；其中所述导向元件使流动通道与传感元件对准。
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