[发明专利]使用背面检测和单个专用集成电路的压差测量有效
| 申请号： | 200580036166.8 | 申请日： | 2005-08-23 |
| 公开（公告）号： | CN101044380A | 公开（公告）日： | 2007-09-26 |
| 发明（设计）人： | T·V·范;R·A·沃德;P·I·拉恩;G·D·帕克 | 申请（专利权）人： | 霍尼韦尔国际公司 |
| 主分类号： | G01L3/06 | 分类号： | G01L3/06 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 蔡民军;廖凌玲 |
| 地址： | 美国新*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 本发明公开了压差传感器系统和方法，包括由用于检测被检测介质的多个压力检测芯片组成的绝对压力传感器，其中压力检测芯片中的每个都具有背面和前面，并且分别与多个不同的压力相关联。被检测介质仅施加在压力检测芯片的背面上，由此防止与压力检测芯片的前面相关联的引线键合和有源区域暴露于被检测介质并受到与被检测介质相关联的酸和磨蚀化学物质侵蚀。 | ||
| 搜索关键词： | 使用 背面 检测 单个 专用 集成电路 测量 | ||
【主权项】：
1.一种压差传感器系统，包括：绝对压力传感器，该绝对压力传感器包括用于检测被检测介质的多个压力检测芯片，其中所述多个压力检测芯片中的每个都具有背面和前面并且分别与多个不同的压力相关联；以及其中所述被检测介质仅施加在所述多个压力检测芯片的所述背面上，由此防止与所述多个压力检测芯片的所述前面相关联的引线键合和有源区域暴露于被检测介质并受到与所述被检测介质相关联的酸和磨蚀化学物质侵蚀。
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