[发明专利]裂痕形成方法及裂痕形成装置

摘要

本发明提供一种裂痕形成方法及裂痕形成装置，即使将大型脆性材料基板定位于加工用载台上时产生位置偏离，也能沿精确的方向形成裂痕。以光束行进路线(L)的方向相对于被设定为与射束点(B)的实质长轴方向一致的基准轴方向(X)呈倾斜方向的方式，使射束点(B)相对于基板(G)移动，由此使裂痕形成预定线(M)形成在与光束行进路线(L)相距偏置量(O)的位置，进一步地，通过使冷却点(C)沿裂痕形成预定线(M)进行相对移动，来沿裂痕形成预定线(M)形成垂直裂痕，其中，上述光束行进路线是射束点(B)的中心移动的轨迹。

主权项

1.一种裂痕形成方法，该方法将形成实质上具有长轴的射束点的激光束照射于脆性材料基板上，并且形成喷射制冷剂的冷却点，通过激光束照射所进行的加热与制冷剂喷射所进行的冷却，在局部产生热变形，从而在该基板上形成垂直裂痕，其特征在于：以光束行进路线的方向相对于被设定为与射束点的长轴方向一致的基准轴方向呈倾斜方向的方式，使射束点相对于上述基板移动，由此使冷却点沿与光束行进路线相距偏置量的位置(裂痕形成预定线)相对移动，其中，所述光束行进路线是射束点的长轴中心移动的轨迹。