[发明专利]电子设备有效
| 申请号： | 200580036701.X | 申请日： | 2005-10-24 |
| 公开（公告）号： | CN101048839A | 公开（公告）日： | 2007-10-03 |
| 发明（设计）人： | 彼得·G·斯蒂尼肯;约瑟夫·托马斯·马蒂纳斯·范贝克;特奥·里克斯 | 申请（专利权）人： | 皇家飞利浦电子股份有限公司 |
| 主分类号： | H01H59/00 | 分类号： | H01H59/00 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人： | 陈瑞丰 |
| 地址： | 荷兰艾*** | 国省代码： | 荷兰;NL |
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| 摘要： | 电子设备包括处于基板(14)第一侧的微机电系统(MEMS)装置。所述MEMS装置包括第一电极(101)和第二电极(11)，第二电极是可移动装置的一部分并且能够在第一和第二位置之间朝向和背离第一电极移动。在第一位置，第二电极(11)与第一电极(101)被空气缝隙(110)分开。可移动装置包括机械层(12)和其中限定了第二电极(11)的中间层。第二电极(11)由处于中间层的多个部件(131、132、133)组成，其中每个都是通过分离的垂直互连(121、122、123)机械连接到机械层(12)。 | ||
| 搜索关键词： | 电子设备 | ||
【主权项】：
1.一种电子设备，包括微机电系统(MEMS)装置，所述MEMS装置包括第一电极和第二电极，第二电极是可移动装置的一部分并且能够在第一和第二位置之间朝向和背离第一电极移动，并且在第一位置，其与第一电极被缝隙分开，所述可移动装置包括机械层和其中限定了第二电极的中间层，特征在于，第二电极由中间层中的多个部件组成，其中每个部分都通过分开的垂直互连机械连接到机械层。
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