[发明专利]MEMS设备用的弹簧结构有效
| 申请号： | 200580037134.X | 申请日： | 2005-10-24 |
| 公开（公告）号： | CN101048840A | 公开（公告）日： | 2007-10-03 |
| 发明（设计）人： | 彼得·G·斯蒂恩津;约瑟夫·托马斯·马丁努斯·万贝克;特奥·赖克斯 | 申请（专利权）人： | 皇家飞利浦电子股份有限公司 |
| 主分类号： | H01H59/00 | 分类号： | H01H59/00 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人： | 陈瑞丰 |
| 地址： | 荷兰艾*** | 国省代码： | 荷兰;NL |
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| 摘要： | 一种MEM设备，具有可移动元件(30)，一对使可移动元件移动的电极(e1，e2)，一个具有与各电极的其余部分连接的独立可移动部分的电极(e3)，以便对电极的牵引提供附加的阻力。这样可具有更高的释放电压Vrel，从而减小静态阻力的风险。此外，可减小VPI与Vrel的比值，从而可将更大范围的电压用于使可移动元件移动。这样就能够进行更快的切换。独立可移动部分的面积小于电极的其余部分，并且弹性连接器的弹簧常数大于柔性支撑体的弹簧常数。作为选择，可移动元件可具有弹性连接且朝向基片突起的可移动标记部分，以便当接触基片时为牵引提供附加的阻力。 | ||
| 搜索关键词： | mems 备用 弹簧 结构 | ||
【主权项】：
1.一种微机电设备，它包括在基片上的第一电极(e1)，第二电极(e2)，所述第二电极(e2)是可移动元件的一部分，并且通过可移动元件的可变形部分(k1)的弹性形变，至少在第一与第二基本闭合的位置之间朝向和远离第一电极(e1)移动，在其第一位置时第二电极(e2)与第一电极(e1)分隔一定的间隙，其中，所述可移动元件包括通过弹性连接器(k2)与可移动元件的主要部分连接的独立可移动部分，以致在第二电极处于其第二位置时，弹性连接器(k2)沿远离第一电极的方向在可移动元件上施加力。
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