[发明专利]肟酯化合物和含有该化合物的光聚合引发剂

摘要

本发明的肟酯化合物的特征在于由下述通式(I)表示，且适合用作光聚合引发剂。本发明的肟酯化合物的感度高，而且热分解温度高且不损害感光性组合物的附着性、耐碱性，另外，通过光照射产生的分解物不会附着在掩膜上。(式中，X表示烷基等，m是2以上时，多个X可以是分别不同的基团，R₁、R₂和R₃表示烷基等，这些烷基等可以被卤原子等取代，这些烷基等的亚烷基部分可以插入不饱和键、醚键等。A表示环烷基烷基，m表示1～4的正数。)

主权项

1、一种由下述通式(I)表示的肟酯化合物，式中，X表示氢原子、卤原子或烷基，m是2以上时，多个X可以是分别不同的基团，R1、R2和R3表示R、OR、COR、SR、CONRR’或CN，R和R’表示烷基、芳基、芳烷基或杂环基，它们可以被卤原子和/或杂环基取代，其中烷基和芳烷基的亚烷基部分可以插入不饱和键、醚键、硫醚键、酯键，而且R和R’也可以一起形成环，A表示环烷基烷基，m表示1～4的正数。