[发明专利]聚(酰亚胺－甲亚胺)共聚物、聚(酰胺酸－甲亚胺)共聚物及正型感光性树脂组合物有效
| 申请号： | 200580037346.8 | 申请日： | 2005-07-27 |
| 公开（公告）号： | CN101048442A | 公开（公告）日： | 2007-10-03 |
| 发明（设计）人： | 长谷川匡俊;石井淳一 | 申请（专利权）人： | 索尼化学&信息部件株式会社 |
| 主分类号： | C08G73/10 | 分类号： | C08G73/10;G03F7/023;G03F7/037 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 孙秀武;李连涛 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供具有低线性热膨胀系数的聚(酰亚胺－甲亚胺)共聚物及其制造方法、作为其前体的聚(酰胺酸－甲亚胺)共聚物和含有该共聚物和感光剂的正型感光性组合物、由该组合物得到聚(酰亚胺－甲亚胺)共聚物的微细图案的微细图案的制造方法。聚(酰亚胺－甲亚胺)共聚物包括式(1)的甲亚胺聚合单元和式(2)的酰亚胺聚合单元，正型感光性树脂组合物的主要成分即聚(酰胺酸－甲亚胺)包括式(1)的甲亚胺聚合单元和式(3)的酰胺酸聚合单元。在式(1)～式(3)中，A和D分别表示二价的芳族基或者脂族基，B表示四价的芳族基或者脂族基。(在式(1)和式(2)中，A和D分别表示二价的芳族基或者脂族基，B表示四价的芳族基或者脂族基)。 | ||
| 搜索关键词： | 亚胺 共聚物 酰胺酸 感光性 树脂 组合 | ||
【主权项】：
1.一种聚(酰亚胺-甲亚胺)共聚物，其含有式(1)的甲亚胺聚合单元和式(2)的酰亚胺聚合单元：[化学式1]![]()
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在式(1)和式(2)中，A和D分别表示二价的芳族基或者脂族基，B表示四价的芳族基或者脂族基。
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