[发明专利]适于大面积衬底的电容性耦合RF等离子体反应器的阻抗匹配无效
| 申请号： | 200580038684.3 | 申请日： | 2005-11-11 |
| 公开（公告）号： | CN101057310A | 公开（公告）日： | 2007-10-17 |
| 发明（设计）人： | A·贝林格 | 申请（专利权）人： | OC欧瑞康巴尔斯公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 张雪梅;王小衡 |
| 地址： | 列支敦士*** | 国省代码： | 列支敦士登;LI |
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| 摘要： | 提供了一种用于将半导电层沉积到非常大的玻璃区域上的RF等离子体反应器(40)。该RF等离子体反应器包括真空室(18)、反应器室(24)、RF电源(12)、匹配网络(14)、位于真空室内部的第一(22)和第二金属板(20)以及被限定在第一和第二金属板之间的等离子体放电区(30)。该RF等离子体反应器进一步包括馈送线(26)和阻抗变换电路(42)，其两者都电连接到第一金属板。该阻抗变换电路进一步包括变换反应器的阻抗的阻塞可调电容器(Car)。 | ||
| 搜索关键词： | 适于 大面积 衬底 电容 耦合 rf 等离子体 反应器 阻抗匹配 | ||
【主权项】：
1.一种RF等离子体反应器，包括：真空室(18)；RF电源(12)；匹配网络(14)；位于真空室内部的第一金属板(22)和第二金属板(20)；被限定在第一和第二金属板之间的等离子体放电区(30)；电连接到第一金属板(22)、匹配网络(14)和RF电源(12)的馈送元件(26)；以及电连接到第一金属板(22)的阻抗变换电路(42)。
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