[发明专利]流体紫外线透镜无效
| 申请号： | 200580039167.8 | 申请日： | 2005-11-09 |
| 公开（公告）号： | CN101057161A | 公开（公告）日： | 2007-10-17 |
| 发明（设计）人： | 阿德里安纳斯·森佩尔;伯纳德斯·H.·W.·亨德里克斯;库恩·T.·H.·F.·利登巴姆;施泰因·凯珀 | 申请（专利权）人： | 皇家飞利浦电子股份有限公司 |
| 主分类号： | G02B3/14 | 分类号： | G02B3/14;G02B26/02;G02B13/14;G03F7/20 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 | 代理人： | 王英 |
| 地址： | 荷兰艾*** | 国省代码： | 荷兰;NL |
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| 摘要： | 一种用于紫外线辐射的光学元件(100)，其包括含有第一流体(104)和与所述第一流体(104)不相混合的第二流体(106)。所述第一和第二流体(104，106)在与所述光学元件的光轴交叉地延伸的弯月面(114)上相互接触。所述流体中的至少一种相对于诸如深紫外线辐射的紫外线辐射基本是透明的。所述光学元件(100)可以是透镜或反射镜，并且可以具有可调光学特性。可以将所述光学元件用于诸如数据载体的母盘制作工具、激光系统或光刻系统的光学系统中。所述流体之一可以是气体。 | ||
| 搜索关键词： | 流体 紫外线 透镜 | ||
【主权项】：
1、一种适用于紫外线辐射的光学元件(100，200，250，300，350)，其包括至少含有第一流体(104)和第二流体(106)的流体室(102)，所述第一流体和第二流体在与所述光学元件(100，200，250，300，350)的光轴(112)交叉地延伸的弯月面(114)上相互接触，所述第一和第二流体(104，106)是非混相的，其中，所述流体中的至少一种是基本透明的，从而使所述光学元件(100，200，250，300，350)相对于紫外线辐射至少具有20％的透明度。
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