[发明专利]具有包封电极的微放电装置及制作方法无效
| 申请号： | 200580039492.4 | 申请日： | 2005-10-04 |
| 公开（公告）号： | CN101084566A | 公开（公告）日： | 2007-12-05 |
| 发明（设计）人： | J·加里·埃登;朴晟镇 | 申请（专利权）人： | 伊利诺伊大学受托管理委员会 |
| 主分类号： | H01J17/04 | 分类号： | H01J17/04;H01J9/00;H01J61/04 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 | 代理人： | 陶凤波 |
| 地址： | 美国伊*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 本发明的一个实施例为包括包封在电介质内的第一电极(230)的微放电装置，该电介质可以为纳米孔介电膜。提供也可以用电介质包封的第二电极(240)。这些电极配置成，当时变(AC、RF、双极或脉冲DC等)电势施加在电极之间时，在微腔内触发放电。在本发明的具体实施例中，第二电极可以是覆盖微腔开口的网，且该微腔在一端闭合。在本发明的一些实施例中，该第二电极可直接接触第一电极。在其他实施例中，一间隙分隔这些电极。在具有包封电极的微放电装置的优选制造方法中，金属基板用于形成纳米孔介电包封电极并溶解介电层的一部分。该介电层随后再次被阳极化，形成纳米孔介电包封电极，其纳米尺寸介电结构具有改善的规则性。在本发明的一些实施例中，电介质内的柱状孔洞可以用一种或多种材料回填，以进一步调整电介质的性能。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 电极 放电 装置 制作方法 | ||
【主权项】：
1.一种微放电装置，包括：第一电极(230)，所述电极包括导体和微腔，所述电极用第一电介质包封；以及第二电极(240)，所述电极配置成，当电势施加于所述电极之间时在所述微腔内触发放电。
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