[发明专利]用于增大由羰基金属前驱体沉积金属层的速率的方法无效
| 申请号： | 200580040103.X | 申请日： | 2005-10-03 |
| 公开（公告）号： | CN101124352A | 公开（公告）日： | 2008-02-13 |
| 发明（设计）人： | 铃木健二;以马利·盖德帝;格利特·J·莱乌辛克;芬顿·R·麦克非;桑德拉·G·马尔霍特拉 | 申请（专利权）人： | 东京毅力科创株式会社;国际商业机器公司 |
| 主分类号： | C23C16/16 | 分类号： | C23C16/16;H01L21/768 |
| 代理公司： | 北京东方亿思知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 李剑 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明描述了一种用于通过将羰基金属前驱体(52、152)的蒸汽与CO气体混合来增大以羰基金属前驱体(52、152)形成的金属层的沉积速率的方法(300)。该方法(300)包括在沉积系统(1、100)的处理室(10、110)中提供衬底(25、125)，形成包含羰基金属前驱体蒸汽和CO气体的处理气体，以及将衬底(25、125、400、402)暴露于处理气体以通过热化学气相沉积工艺在衬底(25、125、400、402)上沉积金属层(440、460)。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 增大 羰基 金属 前驱 沉积 速率 方法 | ||
【主权项】：
1.一种在衬底上沉积金属层的方法，该方法包括：在沉积系统的处理室中提供衬底；形成包含羰基金属前驱体蒸汽和CO气体的处理气体；以及将所述衬底暴露于所述处理气体，以通过热化学气相沉积工艺在所述衬底上沉积金属层。
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C23 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
