[发明专利]图案形成材料、以及图案形成装置和图案形成方法无效
| 申请号： | 200580040184.3 | 申请日： | 2005-09-28 |
| 公开（公告）号： | CN101124516A | 公开（公告）日： | 2008-02-13 |
| 发明（设计）人： | 高岛正伸;松本浩隆 | 申请（专利权）人： | 富士胶片株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/004 | 分类号： | G03F7/004;G03F7/20;H05K3/00 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人： | 朱丹 |
| 地址： | 日本国*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明的目的在于，提供能够有效地抑制感光层的感度降低并且可以形成更高精细图案的图案形成材料、以及具备该图案形成材料的图案形成装置和使用了上述图案形成材料的图案形成方法。因此，提供图案形成材料、以及具备该图案形成材料的图案形成装置和使用该图案形成材料进行曝光的图案形成方法，所述图案形成材料的特征在于：在支撑体上至少具有感光层，该支撑体的浊度值为5.0％以下，该感光层含有选自具有酸性核的色素、具有碱性核的色素和荧光增白剂的至少1种作为增感剂，并且在对该感光层进行曝光、显像时，在该显像的前后不使该感光层曝光的部分的厚度发生变化的上述曝光中所使用的光的最小能量为0.1～20(mJ/cm2)。 | ||
| 搜索关键词： | 图案 形成 材料 以及 装置 方法 | ||
【主权项】：
1.一种图案形成材料，其特征在于：在支撑体上至少具有感光层，该支撑体的浊度值为5.0％以下，该感光层含有选自具有酸性核的色素、具有碱性核的色素和荧光增白剂的至少1种作为增感剂，并且在对该感光层进行曝光、显像时，在该曝光和显像后不使该感光层曝光的部分的厚度发生变化的上述曝光中所使用的光的最小能量为0.1～20(mJ/cm2)。
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