[发明专利]模具及具有转印精细图形的基材的制造方法无效
| 申请号： | 200580040754.9 | 申请日： | 2005-11-28 |
| 公开（公告）号： | CN101065226A | 公开（公告）日： | 2007-10-31 |
| 发明（设计）人： | 川口泰秀;坂根好彦;白川大祐 | 申请（专利权）人： | 旭硝子株式会社 |
| 主分类号： | B29C33/40 | 分类号： | B29C33/40;B29C59/02;B29C33/42;H01L21/027 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 | 代理人： | 沙永生 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供模具以及具有转印精细图形的基材的制造方法。作为用于将光固化性树脂成形的具有精细图形的模具，其特征在于，具备在形成下述中间层(A)的表面具有基于官能团(x)的化学键的透明基体、存在于该透明基体的表面和下述表面层(B)之间的中间层(A)、具有精细图形的下述表面层(B)。中间层(A)：由作为主链上具有含氟脂肪族环结构的含氟聚合物的具有与前述官能团(x)具反应性的反应性基团(y)的含氟聚合物(1)形成的层。表面层(B)：由作为主链上具有含氟脂肪族环结构的含氟聚合物的实质上不具有前述反应性基团(y)的含氟聚合物(2)形成，于表面具有精细图形的层。 | ||
| 搜索关键词： | 模具 具有 精细 图形 基材 制造 方法 | ||
【主权项】：
1.模具，它是用于将光固化性树脂成形的具有精细图形的模具，其特征在于，具备在形成下述中间层(A)的表面具有基于官能团(x)的化学键的透明基体、存在于该透明基体的表面和下述表面层(B)之间的中间层(A)、具有精细图形的下述表面层(B)；中间层(A)：由作为主链上具有含氟脂肪族环结构的含氟聚合物的具有与前述官能团(x)具反应性的反应性基团(y)的含氟聚合物(1)形成的层；表面层(B)：由作为主链上具有含氟脂肪族环结构的含氟聚合物的实质上不具有前述反应性基团(y)的含氟聚合物(2)形成，于表面具有精细图形的层。
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