[发明专利]薄膜弹性波谐振器

摘要

上电极(50)包括以圆形形状形成的第一电极部件(51)和在所述第一电极部件(51)的外部以扇形方式形成的第二电极部件(52)和第三电极部件(53)。该第一，第二和第三电极部件(51至53)经由绝缘区域彼此电气隔离。下电极(30)包括以圆形形状形成的第四电极部件(31)和在所述第四电极部件(31)的外部以扇形方式形成的第五电极部件(32)和第六电极部件(33)。类似的，该第四，第五和第六电极部件(31至33)经由绝缘区域彼此电气隔离。此外，分别提供第四电极部件(31)使其经由压电体(40)面对所述第一电极部件(51)，提供第五电极部件(32)使其经由所述压电体(40)面对所述第二电极部件(52)，以及提供第六电极部件(33)使其经由所述压电体(40)面对所述第三电极部件(53)。

主权项

1、一种以预定频率振动的薄膜弹性波谐振器，包括：压电体；在所述压电体的一个表面上形成的第一电极部件；在所述压电体的所述一个表面上的、在所述第一电极部件的外部形成的第二电极部件，其被放置成与所述第一电极部件绝缘；在所述压电体的所述一个表面上的、在所述第一电极部件的外部形成的第三电极部件，其被放置成与所述第一电极部件以及第二电极部件绝缘；在所述压电体的另一个表面上形成的第四电极部件，所述另一个表面面对所述压电体的所述一个表面；在所述压电体的所述另一个表面上的、在所述第四电极部件的外部形成的第五电极部件，其被放置成与所述第四电极部件绝缘；在所述压电体的所述另一个表面上的、在所述第四电极部件的外部形成的第六电极部件，其被放置成与所述第四电极部件和第五电极部件绝缘；以及支撑部件，用于支撑由所述压电体和所述第一至第六电极部件形成的结构，该支撑部件至少包括基板，其中将电信号输入至所述第一电极部件和所述第四电极部件中的一个，并且从所述第二电极部件和所述第六电极部件，或者从所述第三电极部件和所述第五电极部件输出电信号；或者，将电信号输入到所述第二电极部件和所述第六电极部件中，或输入到所述第三电极部件和所述第五电极部件中，并且从所述第一电极部件和所述第四电极部件中的一个输出电信号。