[发明专利]测量连续移动样品的样品表面平整度的系统与方法

摘要

连续移动样品的样品表面平整度的测量。传送装置连续地传送在相对于传送平面以非0角度放置的光栅之下的样品。样品和倾斜光栅之间的相对距离随样品的水平平移变化。放置在样品和光栅之上的照相机以固定的时间间隔捕获图像序列，每一图像包括指示样品的表面平整度的阴影波纹条纹图。样品和光栅之间的相对距离的连续变化在每一相继图像的阴影波纹条纹图之间引入已知或未知的相位阶跃。与照相机相关联的计算机处理图像以确定样品的所选择像素位置处的像素的相位值和样品表面的相对高度。

主权项

1.一种用于测量连续移动样品的表面平整度的方法，包括步骤：在传送装置表面上传送所述样品，所述传送装置表面在相对于传送平面以非0角度放置的光栅之下延伸；使用照相机捕获在所述光栅之下不同位置处的所述样品的图像的时间序列，每一图像包括指示所述样品的表面平整度的阴影波纹条纹图；在每一图像采集之间，以像素为单位计算所述样品的横向位移；在所述图像的第一图像中，选择所述样品中的一组像素位置，并且确定在每一所述像素位置处的强度值；在其他图像的每一图像中，基于所述横向位移选择该组像素位置，并确定在每一所述像素位置处的强度值；根据所述强度值，为每一所选择的像素位置计算相位值；以及根据所述相位值，计算每一像素位置处所述样品表面的相对高度。