[发明专利]薄膜声反射器迭层无效
| 申请号： | 200580043139.3 | 申请日： | 2005-12-07 |
| 公开（公告）号： | CN101080869A | 公开（公告）日： | 2007-11-28 |
| 发明（设计）人： | 汉斯－彼德·勒布尔;阿恩德·里茨;克里斯托弗·梅茨马赫尔 | 申请（专利权）人： | 皇家飞利浦电子股份有限公司 |
| 主分类号： | H03H3/02 | 分类号： | H03H3/02;C23C14/00 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人： | 朱进桂 |
| 地址： | 荷兰艾*** | 国省代码： | 荷兰;NL |
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| 摘要： | 本发明涉及一种制作包括第一和第二材料的交替层的薄膜声反射器迭层的方法，所述第一和第二材料具有不同的声学特征阻抗，其中，通过反应脉冲直流磁控溅射工艺交替地沉积各层。本发明还包括由此制作的声反射器迭层以及用于执行所述方法的配置。 | ||
| 搜索关键词： | 薄膜 反射 器迭层 | ||
【主权项】：
1.一种用于制作包括第一和第二材料的交替层的薄膜声反射器迭层的方法，第一和第二材料具有不同的声学特征阻抗，其中，通过反应直流磁控溅射工艺来沉积所述层中的至少一层。
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