[发明专利]带透明导电膜的基板及其图案形成方法无效
| 申请号： | 200580043593.9 | 申请日： | 2005-12-16 |
| 公开（公告）号： | CN101080785A | 公开（公告）日： | 2007-11-28 |
| 发明（设计）人： | 赤尾安彦;花田彰太郎;馬場建郎 | 申请（专利权）人： | 旭硝子株式会社 |
| 主分类号： | H01B5/14 | 分类号： | H01B5/14;H01B13/00;H01J9/02;H01J11/02 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 | 代理人： | 沙永生 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供生产性高且适合于激光图案形成的带透明导电膜的基板。作为在玻璃基板上形成以氧化铟为主要成分的透明导电膜而成的带透明导电膜的基板、特征在于该透明导电膜表面的平均畴直径在150nm以下的带透明导电膜的基板，以及前述透明导电膜为非晶质的前述带透明导电膜的基板。前述透明导电膜通过溅射法以200℃以下的成膜时的基板温度形成的前述带透明导电膜的基板。 | ||
| 搜索关键词： | 透明 导电 及其 图案 形成 方法 | ||
【主权项】：
1.带透明导电膜的基板，它是在玻璃基板上形成以氧化铟为主要成分的透明导电膜而成的带透明导电膜的基板，其特征在于，该透明导电膜表面的平均畴直径在150nm以下。
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