[发明专利]一种在石英灯加热器的表面涂镀透射近红外线多层薄膜的装置与方法

摘要

本发明公开了一种在石英灯加热器的表面上涂镀透射近红外线多层薄膜的装置与方法，该装置包括用于在石英灯加热器(110)上真空涂镀薄膜的真空腔(100)，用于分别使真空腔处于高真空状态和低真空状态的高真空泵(180)和低真空泵(190)，真空阀(181，182，185和191)，旋转和绕转支架(120)，用于旋转和绕转灯加热器使灯加热器被镀上放射状对称的镀层材料(140)，电子枪(130)，用于监测涂镀薄膜厚度的薄膜厚度监测仪(170)，用于控制电子枪操作的薄膜涂镀控制器(200)，以及控制上述镀层单元操作的主控制器(300)。

主权项

1、一种涂镀近红外透射多层薄膜的装置，其中该薄膜能够经受石英灯加热器表面约900℃的高温，在该石英灯加热器的表面上，该多层薄膜用于允许透射近红外线而同时阻挡可见光，包括：一个真空腔，用于在高温400℃下，在位于该真空腔中的温控石英灯加热器上执行真空涂镀近红外透射多层薄膜；一个高真空泵，通过在真空腔一侧形成的空气排气管制造真空腔的高真空状态；一个低真空泵，通过在真空腔另一侧形成的空气排气管制造真空腔的低真空状态；真空阀，用于连接真空腔和高真空泵、真空腔和低真空泵、以及高真空泵和低真空泵，并控制它们之间的空气流动；一个旋转和绕转支架，其中该支架随设置在其上面的石英灯加热器一起放置在真空腔里，能形成以各种径向对称形状，包括圆形或球形，旋转和绕转石英灯加热器以使涂镀材料涂镀在该石英灯加热器的全部表面上，以一致的折射率和厚度形成近红外透射薄膜；一个电子枪，放置在真空腔里用于熔化涂镀材料使其蒸发和涂镀在石英灯加热器的表面上；一个离子枪，放置在真空腔里，向涂镀在石英灯加热器的表面上的薄膜辐射离子束，以轰击该薄膜，这样增加了薄膜的封装密度；一个薄膜厚度监测仪，放置在真空腔里，监测涂镀在石英灯加热器表面上的薄膜厚度；一个薄膜涂镀控制器，用于控制涂镀需求，包括电子枪的电源，装载涂镀材料到电子枪的容器中，以根据预先输入的涂镀相关数据涂镀近红外透射多层薄膜，并同时监测上述薄膜厚度监测仪提供的薄膜涂镀状态；以及一个主控制器，用于根据预先输入的信息和一套程序顺序地操作涂镀单元，包括真空泵，真空阀，旋转和绕转支架，电子枪，离子枪，以及薄膜涂镀控制，或停止其操作，以自动控制近红外透射多层薄膜的涂镀。