[发明专利]具有可移动部件、气隙和真空管的精密装置无效
| 申请号： | 200580043919.8 | 申请日： | 2005-12-14 |
| 公开（公告）号： | CN101084089A | 公开（公告）日： | 2007-12-05 |
| 发明（设计）人： | A·M·赖肯;M·A·M·库佩恩;H·J·埃金科;B·A·H·尼吉兰德 | 申请（专利权）人： | 皇家飞利浦电子股份有限公司 |
| 主分类号： | B23Q1/01 | 分类号： | B23Q1/01;B23Q11/00 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 | 代理人： | 王英 |
| 地址： | 荷兰艾*** | 国省代码： | 荷兰;NL |
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| 摘要： | 一种精密装置，其具有可移动部件(A)，所述可移动部件(A)在垂直于其移动而设置的桥接部件(2)中移动。所述桥接部件包括气隙(S)和排气装置(E)。所述桥接部件(2)包括基本上沿着所述桥接部件的长度延伸的第一气道(21)，所述第一气道具有孔(21a、21b)。所述孔(21a、21b)沿着所述桥接部件的长度均匀分布，并形成通向第二气道(22)的气流通道，所述第二气道(22)也基本上沿着所述桥接部件的长度延伸。在工作时，通过所述第二气道经由所述气隙(S)而抽气。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 移动 部件 真空管 精密 装置 | ||
【主权项】：
1、一种精密装置，其具有可移动部件(A)，所述可移动部件(A)在垂直于其移动方向而设置的桥接部件(2)中移动，所述桥接部件包括气隙(S)和排气装置(E)，其中，所述桥接部件(2)包括基本上沿着所述桥接部件的长度延伸的第一气道(21)，所述第一气道具有沿着所述桥接部件的长度均匀分布的孔(21a、21b)，所述均匀分布的孔形成通向第二气道(22)的气流通道，所述第二气道(22)也基本上沿着所述桥接部件的长度延伸，在工作时，通过所述第二气道经由所述气隙(S)而抽气。
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