[发明专利]激光原子探针有效
| 申请号： | 200580044221.8 | 申请日： | 2005-12-20 |
| 公开（公告）号： | CN101088137A | 公开（公告）日： | 2007-12-12 |
| 发明（设计）人： | 约瑟夫·H·本托恩;托马斯·F·凯利;丹尼尔·R·愣次;斯科特·A·维纳 | 申请（专利权）人： | 埃美格科学仪器公司 |
| 主分类号： | H01J37/285 | 分类号： | H01J37/285;H01S3/10 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人： | 朱进桂 |
| 地址： | 美国威*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 原子探针包括可以保持待分析试样的试样底座。检测器与试样底座间隔开。位于试样底座和检测器之间的是具有孔的局部电极。激光器取向为以相对于孔平面的非零度角向试样底座发射激光束，所述孔平面取向为与在试样底座和检测器之间通过孔而限定的离子传播路径垂直。 | ||
| 搜索关键词： | 激光 原子 探针 | ||
【主权项】：
1.一种原子探针，包括：试样底座，可以在其上安装待分析的试样；检测器，与试样底座间隔开；局部电极，位于试样底座和检测器之间，所述局部电极具有在其中限定的孔；激光器，取向为以相对于孔平面的非零度角向试样底座发射激光束，所述孔平面取向为与在试样底座和检测器之间通过孔而限定的离子传播路径垂直。
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