[发明专利]三维形状测量装置

摘要

在使用白色干涉条纹测量被测量物的三维形状的三维形状测量装置(白色干涉测量装置)中，可以缩短运算所需要的处理时间，并且可以高精度地确定白色干涉条纹的振幅的包络线为最大的位置。在白色干涉测量装置中，首先对于由来自参照镜(6)的返回光和来自被测量物(7)的返回光的干涉产生的白色干涉条纹，求出振幅的包络线的分布，使用该包络线的分布，求出白色干涉条纹的对比度为最大的大概的位置。然后，提取白色干涉条纹中包含的至少两个以上相互不同的分光光谱频带成分的干涉条纹，在白色干涉条纹的对比度为最大的大概位置的附近求出得到相互不同的分光光谱频带成分的干涉条纹的相位为相互相等的值的位置。

主权项

1.一种三维形状测量方法，其使从发出具有宽带光谱的照明光的光源到被测量物的光路长、或者从所述光源到参照镜的光路长变化，检测这些光路长相等的位置，由此，来测量该被测量物的三维形状，其特征在于，包含以下的阶段：求出包含由于来自所述参照镜的所述照明光的返回光和来自所述被测量物的所述照明光的返回光的干涉而产生的白色干涉条纹的振幅的包络线表示最大值的位置的概略位置的阶段；提取所述白色干涉条纹中包含的至少两个以上的相互不同的分光光谱频带成分的干涉条纹的阶段；以及在所述概略位置附近，求出得到所述相互不同的分光光谱频带成分的干涉条纹的相位为相互相等的值的位置，由此来决定从所述光源到所述被测量物的光路长与从所述光源到所述参照镜的光路长相等的位置的阶段。