[发明专利]光电装置的垂直生产无效
| 申请号： | 200580044444.4 | 申请日： | 2005-11-10 |
| 公开（公告）号： | CN101087899A | 公开（公告）日： | 2007-12-12 |
| 发明（设计）人： | 约翰·R·塔特尔 | 申请（专利权）人： | 德斯塔尔科技公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;H01L31/00;C23C16/00 |
| 代理公司： | 北京律盟知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 王允方;刘国伟 |
| 地址： | 美国*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 本发明提供一种通过以下方式生产的光电薄膜太阳能电池(310)：将垂直定向的基于托盘(320)的衬底(310)提供到在其中可在所述托盘(320)上循序地形成多个层的一系列反应室(330、340)中。 | ||
| 搜索关键词： | 光电 装置 垂直 生产 | ||
【主权项】：
1.一种用于制造光电装置的设备，其包括：用于将垂直定向的衬底提供到第一反应区域的构件；多个反应区域，其至少包含：能够提供用于沉积背部接触层的环境的区域；能够提供用于沉积p型半导体层的环境的区域；和能够提供用于沉积n型半导体层的环境的区域。
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