[发明专利]投影光学系统

摘要

本发明提供了一种投影光学系统。该投影光学系统包括沿该投影光学系统的光轴布置的多个透镜；其中，所述多个透镜可被分成为四个不重叠的透镜组，使得各个透镜组的总折射力是负折射力或正折射力；并且其中，第四透镜组中的各个透镜的折射力均等于或大于0。第三透镜组中的紧邻第四透镜组中的一透镜布置的透镜可具有面向所述第二物体的凹形表面。

主权项

1.一种用于将第一物体成像到第二物体区域中的投影光学系统，该投影光学系统包括：沿该投影光学系统的光轴布置的多个透镜；其中，所述多个透镜可被分成为多个不重叠的透镜组，使得各个透镜组的总折射力是负折射力或正折射力；其中，第一透镜组具有负折射力；其中，紧邻所述第一组布置的第二组具有正折射力；其中，紧邻所述第二组布置的第三组具有负折射力；其中，紧邻所述第三组布置的第四组具有正折射力；其中，所述第四透镜组是在所有透镜组中最靠近所述第二物体布置的透镜组；其中，所述第四透镜组中的各个透镜的折射力均等于或大于0，并且其中，所述第三透镜组中紧邻所述第四透镜组的一透镜布置的透镜具有面向所述第二物体的凹形表面。