[发明专利]检测样品与参照物的物理可测特性之间的差异的高灵敏度方法

摘要

本发明涉及一种检测样品P和参照物R的物理可测特性之间的差异的高灵敏度方法，其特征在于进行如下步骤：(i)提供样品P，(ii)提供参考样品R，(iii)提供二维参考场RF，(iv)从所述参考样品R和参考场RF的区域形成第一二维图形，并且从所述样品P和参考场RF的区域形成第二二维图形，所述第一和第二图形以位置相关和波长相关的图形函数M(x，y，λ)描述，(v)在可自由选择的时间t₀对所述第一图形，以及在时间t对所述第二图形，通过检测器将所述第一图形和第二图形对分析辐射的透射、反射或散射分别检测为第一和第二图形的局部坐标(x，y)和分析辐射的波长λ的函数，从而确定所述第一图形的第一图形响应函数M₀(x，y，λ，t₀)，其包括参考响应函数R₀(x，y，λ，t₀)的物理分割区和第一参考场响应函数RF₀(x，y，λ，t₀)的物理分割区，并确定第二图形的第二图形响应函数M_t(x，y，λ，t)，其包括样品响应函数P_t(x，y，λ，t)的物理分割区和第二参考场响应函数RF_t(x，y，λ，t)的物理分割区，每种情况下的函数M₀和M_t将透射、反射或散射分析辐射的强度分别再现为在不同检测时间t₀和t的第一和第二图形的局部坐标(x，y)和波长λ的函数，(vi)以如下方式校正样品响应函数P_t，即通过所述第一和第二参考场响应函数RF₀和RF_t，从所述样品响应函数P_t消除检测器引起的位置相关、时间相关以及波长相关的起伏，从而获得校正样品响应函数P_t,corr，(vii)从所述校正样品响应函数P_t,corr和参考响应函数R₀确定物理可测特性的变化。

主权项

1.一种检测样品P和参考样品R的物理可测特性之间的差异的方法，其中(i)提供样品P，(ii)提供参考样品R，(iii)提供二维参考场RF，(iv)从所述参考样品R和参考场RF的区域形成第一二维图形，并且从所述样品P和参考场RF的区域形成第二二维图形，所述第一和第二图形以位置相关和波长相关的图形函数M(x，y，λ)描述，(v)在可自由选择的时间t0对所述第一图形，以及在时间t对所述第二图形，通过检测器将所述第一图形和第二图形对分析辐射的透射、反射或散射分别检测为第一和第二图形的局部坐标(x，y)和分析辐射的波长λ的函数，从而确定所述第一图形的第一图形响应函数M0(x，y，λ，t0)，其包括参考响应函数R0(x，y，λ，t0)的物理分割区和第一参考场响应函数RF0(x，y，λ，t0)的物理分割区，并确定第二图形的第二图形响应函数Mt(x，y，λ，t)，其包括样品响应函数Pt(x，y，λ，t)的物理分割区和第二参考场响应函数RFt(x，y，λ，t)的物理分割区，每种情况下的函数M0和Mt将透射、反射或散射分析辐射的强度分别再现为在不同检测时间t0和t的第一和第二图形的局部坐标(x，y)和波长λ的函数，(vi)以如下方式校正样品响应函数Pt，即通过所述第一和第二参考场响应函数RF0和RFt，从所述样品响应函数Pt消除检测器引起的位置相关、时间相关以及波长相关的起伏，从而获得校正样品响应函数Pt，corr，(vii)从所述校正样品响应函数Pt，corr和参考响应函数R0确定物理可测特性的变化。