[发明专利]硅块及硅片的制造方法无效
申请号: | 200580048866.9 | 申请日: | 2005-05-11 |
公开(公告)号: | CN101132896A | 公开(公告)日: | 2008-02-27 |
发明(设计)人: | 森川浩昭;唐木田昇市;河嵜贵文 | 申请(专利权)人: | 三菱电机株式会社 |
主分类号: | B28D5/04 | 分类号: | B28D5/04;C09K3/14 |
代理公司: | 北京三友知识产权代理有限公司 | 代理人: | 黄纶伟 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 本发明提供一种硅块及硅片的制造方法,其为了提供可以制造成在制造太阳能电池时基板损坏少、厚度薄的硅片的硅块,而使用含有磨粒和碱性物质的硅锭切割用浆液,切割硅锭来制造硅块,所述碱性物质的含量相对于所述浆液的液体成分整体的质量至少为3.5质量%;所述浆液含有相对于所述浆液的液体成分中的水分的质量比为0.5以上、5.0以下的有机胺;所述浆液的pH值为12以上,且在65℃以上、95℃以下使用所述浆液。 | ||
搜索关键词: | 硅片 制造 方法 | ||
【主权项】:
1.一种硅块的制造方法,其使用含有磨粒和碱性物质的硅锭切割用浆液,切割硅锭来制造硅块,其特征在于:所述碱性物质的含量相对于所述浆液的液体成分整体的质量至少为3.5质量%;所述浆液含有相对于所述浆液的液体成分中的水分的质量比为0.5以上、5.0以下的有机胺;所述浆液的pH值为12以上,且在65℃以上、95℃以下使用所述浆液。
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于三菱电机株式会社,未经三菱电机株式会社许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/200580048866.9/,转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇:分布式节点动态管理数据自适应交换方法
- 下一篇:二维小量程力传感器