[发明专利]图案形成材料以及图案形成装置及图案形成方法无效
| 申请号： | 200580049062.0 | 申请日： | 2005-12-26 |
| 公开（公告）号： | CN101142525A | 公开（公告）日： | 2008-03-12 |
| 发明（设计）人： | 南一守;高岛正伸;若田裕一 | 申请（专利权）人： | 富士胶片株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/004 | 分类号： | G03F7/004;G03F7/027;G03F7/033;G03F7/09;G03F7/20 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人： | 朱丹 |
| 地址： | 日本国*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种图案形成材料，其中，具有支撑体和在该支撑体上至少具有的感光层而成，该支撑体的浊度值为5.0％以下，而且该感光层至少含有粘合剂、聚合性化合物及光聚合引发剂，同时所述聚合性化合物包括在分子中具有1个聚合性基的化合物或者在分子中至少具有3个以上聚合性基的化合物，而且在对所述感光层进行曝光显影时，使该感光层的曝光部分的厚度在该曝光及显影后不发生变化的该曝光中使用的光的最小能量为0.1～20mJ/cm2。 | ||
| 搜索关键词： | 图案 形成 材料 以及 装置 方法 | ||
【主权项】：
1.一种图案形成材料，其特征在于，具有支撑体和在该支撑体上至少具有的感光层而成，该支撑体的浊度值为5.0％以下，而且该感光层至少含有粘合剂、聚合性化合物及光聚合引发剂，同时所述聚合性化合物至少包括在分子中具有1个聚合性基的化合物，而且在对所述感光层进行曝光显影时，使该感光层的曝光的部分的厚度在该曝光及显影后不发生变化的该曝光中使用的光的最小能量为0.1～20mJ/cm2。
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